Un interruptor de vacío es un tipo de interruptor diseñado para monitorear un rango específico de niveles de vacío; También se le conoce como relé de vacío. Su función es abrir o cerrar automáticamente un circuito de control-y generar simultáneamente una señal eléctrica-cuando el nivel de vacío real generado durante la operación alcanza un requisito predeterminado, instruyendo así al mecanismo de adsorción de vacío para que ejecute su operación normal. Está clasificado como un componente crítico tanto para la confiabilidad como para la seguridad.
Los interruptores de vacío se clasifican en tres tipos: mecánicos, semiconductores y de puente neumático. Los interruptores de vacío mecánicos determinan los cambios en la presión de vacío mediante el desplazamiento mecánico-un ejemplo del cual es el interruptor de vacío de tipo diafragma-. Los interruptores de vacío semiconductores, por el contrario, emplean sensores de presión semiconductores para detectar cambios en la presión de vacío y son capaces de convertir directamente las señales de presión detectadas en señales eléctricas.